전자 현미경 을 스캔하는 기본 원칙
스캐닝 전자 현미경 전자 건에 의해 방출되는 전자 빔은 점 광원으로 집중되고 응축된다; 포인트 광원은 가속 전압 하에서 고에너지 전자 빔을 형성한다. 고에너지 전자 빔은 두 개의 전자기 렌즈를 통해 직경이 작은 광반에 초점을 맞추고, 마지막 하나를 통과한 후 스캐닝 코일을 가진 전자기 렌즈를 통과한 후, 전자 빔은 래스터와 같은 스캐닝 방식으로 시료 표면점을 점별로 포격하고 동시에 다른 깊이의 전자 신호를 흥분시킵니다.