센서 특성 소형화, 디지털화, 인텔리전스, 다기능, 시스템화 및 네트워킹은 전통적인 산업의 변화와 업그레이드를 촉진 할뿐만 아니라 새로운 산업을 확립하여 21 세기 새로운 경제 성장 지점이되었습니다. 소형화는 MEMS (Microelectromechanical Systems) 기술을 기반으로하며 실리콘 압력 센서로서 실리콘 장치에 성공적으로 적용되었습니다.
